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FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台
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FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台

品牌： Feinixs
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行程覆盖50mm、100mm、150mm

坚固的台身设计

真空环境使⽤

免费标准版SDK

产品简介

在FMS80基础上，我们设计了FMS80V系列真空专⽤位移台。FMS80V广泛适用于真空环境的应⽤中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。

产品应用

激光打靶

器件调整

⾼能物理

性能实测

接线定义

电机接⼝

产品图纸

FMS80V-50

FMS80V-100

FMS80V-150

产品参数


Model
FMS80V-50
FMS80V-100
FMS80V-150
⾏程(mm)
50
100
150
负载(Kg)
10
10
10
分辨率(μm)
0.625
0.625
0.625
最⼩步进量(μm)
1
1
1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±1
±1
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
±0.5
双向重复定位精度/保证值(μm)
±2
±2.5
±3
双向重复定位精度/典型值(μm)
±1
±1
±1.5
定位精度/保证值(μm)
±10
±12
±15
定位精度/典型值(μm)
±5
±6
±8
最⼤速度(mm/s)
10
10
10
直线度(μm)
10
12
15
平整度(μm)
10
12
15
偏摆
20
25
30
俯仰
20
25
30
重量(kg)
4
4.4
4.8
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