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FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台
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FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台

品牌： Feinixs
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行程覆盖100mm、200mm与300mm

坚固的台身设计

真空环境使用

免费标准版SDK

产品简介

在FMS120系列基础上，我们设计了FMS120V系列真空专用位移台。FMS120V广泛适用于真空环境的应用中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。

产品应用

X射线环境

真空靶室

极高低温环境

性能实测

接线定义

电机接口

产品图纸

FMS120V-100

FMS120V-200

FMS120V-300

产品参数


Model
FMS120V-100
FMS120V-200
FMS120V-300
⾏程(mm)
100
200
300
负载(Kg)
20
20
20
分辨率(μm)
2.5
2.5
2.5
最⼩步进量(μm)
3
3
3
单向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±2
±3
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±1
±2
双向重复定位精度/保证值(μm)
±3
±3
±4
双向重复定位精度/典型值(μm)
±2
±2
±3
定位精度/保证值(μm)
±12
±15
±20
定位精度/典型值(μm)
±6
±8
±10
最⼤速度(mm/s)
40
40
40
直线度(μm)
12
15
20
平整度(μm)
12
15
20
偏摆
30
40
50
俯仰
30
40
50
重量(kg)
10.4
12
13.5
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