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FMS80VR系列真空步进电机高精度整体台面平移台
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FMS80VR系列真空步进电机高精度整体台面平移台

品牌： Feinixs
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行程覆盖30mm、50mm

坚固的台身设计

真空环境使用

免费标准版SDK

产品简介

在FMS80R系列基础上，我们设计了FMS80VR系列真空专用位移台。FMS80VR广泛适用于真空环境的应用中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运⾏。

产品应用

激光打靶

器件调整

高能物理

性能实测

接线定义

电气接口

产品图纸

FMS80VR-30

FMS80VR-50

产品参数


Model
FMS80VR-30
FMS80VR-50
⾏程(mm)
30
50
负载(Kg)
10
5
分辨率(μm)
0.625
0.625
最⼩步进量(μm)
1
1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±1
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
双向重复定位精度/保证值(μm)
±2
±2
双向重复定位精度/典型值(μm)
±1
±1
定位精度/保证值(μm)
±10
±10
定位精度/典型值(μm)
±5
±5
最⼤速度(mm/s)
10
10
直线度(μm)
10
10
平整度(μm)
10
10
偏摆
20
30
俯仰
20
30
重量(kg)
2.8
2.8
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