行程覆盖20mm
紧凑结构设计，占用空间小
摩擦低，精度高
响应快，整定时间短
免费标准版SDK
高性能控制器
可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMS-M系列迷你电动位移台，采用音圈电机动定⼦、十字交叉滚柱导轨、光栅尺反馈系统。紧凑结构设计，占用空间小，响应快，整定时间短，适用于微动、高刚性、高精度、高平面度及直线度的运动场合。广泛应用于各种精密和⾼速运动。
产品应用
半导体
生命科学
光学设备
工业设备
高速扫描
精密测量
性能实测
接线定义
电气接口
产品图纸
FMS76M-20/20H
FMS97M-20/20H
FMS115M-20/20H
产品参数
Model | FMS76M-20/20H | FMS97M-20/20H | FMS115M-20/20H |
⾏程(mm) | 20 | 20 | 20 |
负载(Kg) | 1 | 2 | 3 |
分辨率(μm) | 0.2/0.05(H) | 0.2/0.05(H) | 0.2/0.05(H) |
最⼩步进量(μm) | 0.6/0.3(H) | 0.6/0.3(H) | 0.6/0.3(H) |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.25/±0.125(H) | ±0.25/±0.125(H) | ±0.25/±0.125(H) |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) |
定位精度/保证值(μm) | ±2/±1(H) | ±2/±1(H) | ±2/±1(H) |
定位精度/典型值(μm) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) |
最⼤速度(mm/s) | 100 | 100 | 100 |
直线度(μm) | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 |
持续推⼒(N) | 2.74 | 10.08 | 17.92 |
峰值推⼒(N) | 8.20 | 30.20 | 53.80 |
重量(kg) | 0.58 | 1.1 | 2.0 |
