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FMSS系列方台面整体平移台
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FMSS系列方台面整体平移台

品牌： Feinixs
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行程覆盖38mm、48mm

⽅形台面设计

集成式⼀体化交叉滚柱导轨

超静音位移台

免费标准版SDK

高性能控制器

可选配EtherCAT总线控制

产品简介

精度高和机身尺寸小兼而有之的运动控制产品非常难于设计。我们经过三年研发，反复测试，终于推出了该系列产品，并成功应⽤于商业化原⼦力显微镜。FMSS系列产品采⽤进口直线电机，集成⼀体式交叉滚柱导轨和光栅尺，速度均匀性波动在千分之⼀以内。在保证精度、承载前提下，将体积压缩至极限。

产品应用

激光打靶

晶圆打磨

激光工业

医美医疗

高端仪器设备

原⼦力显微镜

性能实测

接线定义

电机接⼝

反馈接⼝

产品图纸

FMSS90C-38

FMSS125C-48

产品参数


Model
FMSS90C-38
FMSS125C-48
行程(mm)
38
48
负载(Kg)
4
10
分辨率(μm)
0.1
0.1
最⼩步进量(μm)
0.3
0.3
单向重复定位精度/保证值(μm)
±0.3
±0.5
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.2
±0.3
双向重复定位精度/保证值(μm)
±0.6
±1
双向重复定位精度/典型值(μm)
±0.3
±0.5
定位精度/保证值(μm)
±2
±2
定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
最⼤速度(mm/s)
100
100
直线度(μm)
5
5
平整度(μm)
5
5
偏摆(arcsec)
10
10
俯仰(arcsec)
10
10
持续推力(N)
6
17.6
峰值推力(N)
24
88
重量(kg)
1.1
2.1
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