
⾏程覆盖100mm
低幅⾯、低宽度、⼤承载设计
集成式⼀体化交叉滚柱导轨
超静⾳位移台
免费标准版SDK
⾼性能控制器
可选配EtherCAT总线控制
产品简介
我们开发的长行程⾼精度交叉滚柱位移台,弥补了长行程直线导轨和短⾏程交叉滚柱导轨位移台之间的⾏程空缺,可达亚微⽶级的重复定位精度。采用德国⼀体化集成式交叉滚柱导轨、运⾏精度G1级,确保直线度和体积更⼩巧,同时匹配进口无铁芯直线电机保证移动速度的均匀性,可适配FMC04全系列控制器,简单易⽤。
产品应用
光电⼦
显微扫描
光学延迟线
性能实测

接线定义
电机接⼝

反馈接⼝

产品图纸
FMS140C-100

产品参数
Model | FMS140C-100 |
⾏程(mm) | 100 |
负载(Kg) | 10 |
分辨率(μm) | 0.1 |
最⼩步进量(μm) | 0.3 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.5 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.3 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 |
最⼤速度(mm/s) | 100 |
直线度(μm) | 6 |
平整度(μm) | 6 |
偏摆(arcsec) | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 |
持续推⼒(N) | 17.6 |
峰值推⼒(N) | 88 |
重量(kg) | 3.6 |