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新版真空位移台选购指南
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新版真空位移台选购指南

品牌： Feinixs
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产品名称
产品型号
图⽚
⾏程(mm)
最⼩步进量(μm)
双向重复
定位精度
(μm)
最⼤速度
(mm/s)
分辨率
(μm)
负载(Kg)
外形尺⼨
(mm)
真空用步进电机
高精度整体台面
平移台
FMS80VR
-30
30
2
±2
10
0.05
30
550X750X95
真空用步进电机
高精度整体台面
平移台
FMS80VR
-50
50
2
±2
10
0.625
2
100X100X50
真空用步进
电机高精度
通用平移台
FMS80V-
50
50
2
±4
10
0.625
2
120X120X80
真空用步进
电机高精度
通用平移台
FMS80V-
100
100
2
±2
10
0.1
5
250X250X53
真空用步进
电机高精度
通用平移台
FMS80V-
150
150
2
±2
10
0.1
1
260X230X31
真空用步进
电机高精度
大台面平移台
FMS120V
-100
100
3
±1
500
0.05
10
360X360X95
真空用步进
电机高精度
大台面平移台
FMS120V
-200
200
3
±3
40
2.5
20
452x120x56
真空用步进
电机高精度
大台面平移台
FMS120V
-300
300
3
±4
40
2.5
20
552X120X56
真空用步进电机
旋转台
FMSR100V
360°
0.005°
±0.01°
20
0.003°
10
210X116X45.5
真空用步进电机
升降台
FMSZ85VR
-20
20
2
±2.5
10
0.625
5
85x85x85
真空用步进电机
升降台
FMSZ115VR
-50
50
2
±2.5
10
0.625
10
115x115x130
真空用步进电机
升降台
FMSZ80V
-50
50
22
±2
10
0.625
10
124x80x179
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