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XY二维位移台选购指南
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Feinixs
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(mm)
最⼩步进量
(
μ
m)
双向重复
定位精度
(
μ
m)
最⼤速度
(mm/s)
分辨率
(
μ
m)
负载
(Kg)
外形尺⼨
(mm)
直线电机
⻰⻔双驱平台
FMSXXY170Z-
200-200
X
轴:
200 Y
轴:
200
0.2
±
1
500
0.05
30
550X750X95
步进电机
整体⼆维平台
FMSXY100-
20-20
X
轴:
20 Y
轴:
20
1
±
4
5
0.625
2
100X100X50
步进电机
整体⼆维平台
FMSXY120-
25-25
X
轴:
25 Y
轴:
25
1
±
4
5
0.625
2
120X120X80
直线电机
显微扫描平台
FMSXY250Z-
100-100
X
轴:
100 Y
轴:
100
0.2
±
2
100
0.1
5
250X250X53
直线电机
显微扫描平台
FMSXY260Z-230-
110-75
X
轴:
110 Y
轴:
75
0.2
±
2
100
0.1
1
260X230X31
直线电机
⼆维扫描平台
FMSXY360C-
200-200
X
轴:
200 Y
轴:
200
0.2
±
1
500
0.05
10
360X360X95
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