⾏程覆盖150mm、200mm、250mm与300mm
最⼩步进距离可达50纳⽶
⾼达5纳⽶分辨率的光栅尺编码器
超静⾳位移台
拖链内置，⽅便线束管理
免费标准版SDK
⾼性能控制器
可选配EtherCAT总线控制
产品简介
电动运动平台同时具有高精度特性、高速能⼒、超低速运⾏能⼒、高稳定特性是非常困难的。2022年，我们专门为复杂科研应⽤开发了旗舰系列产品FMS165Z- H超⾼性能平移台。FMS165Z-H解决了超低速运⾏稳定性难题，采⽤超⾼分辨率光栅尺配合超⾼精度装配⼯艺，使该系列平移台有**的超低速运行能力并达到亚μm级重复定位精度。FMS165Z-H采用内置拖链，⽅便线束管理，结合Feinixs⾼性能版本的FMC04-H系列控制器，能完美呈现⾼性能版本控制器的所有⾼级功能，运⾏速度最⾼可达1m/s。
产品应用
工业
飞秒加⼯
半导体
显微扫描
光纤延迟线
激光切割机
激光焊接机
医疗
仪器设备制造
性能实测
接线定义
电机接⼝
反馈接⼝
产品图纸
FMS165Z-150H
FMS165Z-200H
FMS165Z-250H
FMS165Z-300H
产品参数
Model | FMS165Z-150H | FMS165Z-200H | FMS165Z-250H | FMS165Z-300H |
⾏程(mm) | 150 | 200 | 250 | 300 |
负载(Kg) | 40 | 20 | 40 | 20 |
分辨率(μm) | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
最⼩步进量(μm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
最⼤速度(mm/s) | 500 | 500 | 500 | 500 |
直线度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏摆(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
持续推⼒(N) | 58 | 29 | 58 | 29 |
峰值推⼒(N) | 200 | 100 | 200 | 100 |
重量(kg) | 13.5 | 13 | 18 | 17.5 |
