激光应用镀膜

激光应用镀膜

LAYERTEC专业生产从VUV（157nm及以下）到NIR（〜4μm）的波长范围的激光应用的光学元件。

用于激光器的常见类型的光学涂层是高反射镜（用于作为谐振镜的正常入射或用于AOI = 45°作为转向镜），用于输出耦合器和分束器的部分反射器以及用于窗户和透镜的防反射涂层。用于更复杂激光类型的涂层结合了高反射率的三个波长范围（例如，对于激光波长和谐波）和高达三个波长范围的高透射率（例如，对于泵浦波长，倍频或抑制其他激光器线）。对于在大波长范围内发射的激光，需要针对光滑群延迟和群延迟色散光谱进行优化的宽带镜和反射镜。染料激光器，Ti：蓝宝石激光器，光参量振荡器（OPO）和飞秒激光器。

除了反射和透射之外，激光应用的涂层必须针对低光损耗和高激光损伤阈值进行优化。

用于VIS和NIR的溅射光学涂层表现出非常低的杂散光和吸收损失（大约为10-5）。 HR反射镜的反射率或由磁控溅射产生的部分反射体的反射率和透射率的总和远高于99.9％。对于溅射和蒸发涂层，近测量的NIR吸收损失约为3-30ppm。蒸发涂层在VIS-NIR区域显示大约10-3级的杂散光损失，在UV和VUV中显示大约10-2。然而，蒸发的涂层在UV中显示出低吸收损失。

cw和ns激光光学器件的损害主要与热效应有关，例如吸收增加 - 涂层材料中的本征吸收或缺陷吸收 - 或涂层的低导热性和低熔融温度。高功率涂层需要控制涂层材料的固有性质和减少层中的缺陷。皮秒和飞秒激光光学的激光损伤主要是由场强效应引起的。这些激光器的大功率涂层需要非常特殊的涂层设计。

根据ISO 11254-1（cw-LIDT和1-LIDT上的1，即单脉冲LIDT），ISO 11254-2（Son 1，即多脉冲LIDT）确定激光诱导损伤阈值（LIDT）和ISO 11254-3（针对一定数量的脉冲的LIDT）要求激光系统以单一模式运行，精的光束诊断以及在线和离线损伤检测系统。这就是为什么只有少数几种类型激光器的有限数量的测量系统可用（例如，在汉诺威Laserzentrum的1064nm）。对于一些突出的激光波长，例如氩离子激光器（488nm或514nm），没有可用的测量系统，并且不能提供认证的LIDT数据。

1-on-1-LIDT（即样品的1个位置上的1个脉冲）不代表正常操作条件。然而，这些值可用于比较不同的涂层和优化程序。此外，1对1值与更实际的S-on-1-LIDT（在样品的同一位点上的给定数字“S”的LIDT）直接相关，并且可以解释为LIDT的上限。具有高重复率（一些kHz）的激光系统需要通过大量脉冲的LIDT值表示的寿命测试。

测量设备数量有限，实际使用寿命测试的需要，还需要将测量，寿命测试或多个客户的累积辐射测试纳入我们的目录以及本网站。请考虑到这些值不能与LIDT测量值进行比较，因为给出的激光参数是没有损坏的。此外，这些价值观总是存在不确定性，特别是在确定斑点大小方面。必须考虑大约30％左右的错误。然而，我们认为，关于光学成功运行参数的信息肯定有助于决定使用LAYERTEC光学器件。有时候，客户激光系统的测试将是必要的。 LAYERTEC在客户工厂对这些测试提供了相当大的折扣。