Layertec飞秒激光镜片 fs-Laser [TiSa, 300 nm bandwidth]

Layertec飞秒激光镜片 fs-Laser [TiSa, 300 nm bandwidth]

a  Laser Mirror 0° 激光反射镜

b  Pump Mirror Pair 0° 泵浦对镜

c  Turning Mirror 22.5°调谐镜

d1 Turning Mirror 45°, p-pol.  调谐镜

d2 Turning Mirror 45°, s-pol. 调谐镜

d3 Turning Mirror 45° 调谐镜

e  Laser Mirror 0 –45°激光反射镜

g  Chirped Mirror Pair 5°啁啾反射镜

k1 Beamsplitter 45°, p-pol.  分束器

k2 Beamsplitter 45°, s-pol.   分束器

m1 Polarizer 75°   偏振镜

m2 Polarizer 75°    偏振镜

p  Window 0°   窗镜

a  Laser Mirror 0°   Layertec激光反射镜

Coating 141318

HR s,p (0-10°, 670-970 nm) > 99.9 %

negative GDD-R s,p (0–10°, 670-970 nm)

to compensate 1.4 mm Fused Silica per bounce (average)

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

b  Pump Mirror Pair 0°    Layertec泵浦对镜

S2: Coating 136768 + 136769

HR s,p (0-10°, 670-970 nm) > 99.8%

R s,p (0-10°, 510-535 nm) < 10 %

GDD-R s,p  (0-10°, 680-960 nm) = -50 (±150) fs²

to compensate 1.2 mm Fused Silica per bounce (average)

S1: Coating 140875

AR s,p (0-10°, 500-545 nm) < 0.2 %

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

c  Turning Mirror 22.5°   Layertec调谐镜

Coating 141503

HR s,p (22.5°, 670-970 nm) > 99.8 %

GDD-R s,p (22.5°, 670-970 nm) = -200 … + 200 fs²

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

d1 Turning Mirror 45°, p-pol.    Layertec调谐镜

Coating 141520

HR p (45°, 670-970 nm) > 99.8 %

GDD-R p (45°, 670-970 nm) = -200 … 0 fs²

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

d2 Turning Mirror 45°, s-pol.   Layertec调谐镜

Coating 141507

HR s (45°, 670-970 nm) > 99.9 %

GDD-R s (45°, 670-970 nm) = -200 … + 200 fs²

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

d3 Turning Mirror 45°  Layertec调谐镜

Coating 141522

HR s,p (45°, 670-970 nm) > 99.7 %

| GDD-R s,p (45°, 670-970 nm) | < 1 500 fs²

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest、

e  Laser Mirror 0–45°  Layertec激光反射镜

Coating 141523

Ag + Multilayer

HR s,p (0-45°, 670-970 nm) > 97 %

| GDD-R s,p (0-45°, 670-970 nm) | < 50 fs²

for application outside the resonator

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.4 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 1.5 J/cm 2 ; 800 nm; 30 fs; 10 kHz; Ø 700 µm HZDR Dresden

g  Chirped Mirror Pair 5°   Layertec啁啾镜

Coating 137180 + 137181

HR s,p (0-10°, 670-970 nm) > 99.8 %

GDD-R s,p (0-10°, 680-960 nm) = -50 (±150) fs²

to compensate 1.4 mm Fused Silica per bounce (average)

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.1 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.25 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

k1 Beamsplitter 45°, p-pol.   Layertec分束器

S2: Coating 141555

PR p (45°, 670-970 nm) = 50 (±5) %

| GDD-R p (45°, 670-970 nm) | < 10 fs²

S1: Coating 141556

AR p (45°, 670-970 nm) < 0.2 %

k2 Beamsplitter 45°, s-pol.    Layertec分束器

S2: Coating 141558

PR s (45°, 670-970 nm) = 50 (±5) %

| GDD-R s (45°, 670-970 nm) | < 5 fs²

S1: Coating 141557

AR s (45°, 670-970 nm) < 0.7 %

m1 Polarizer 75°   Layertec分束器

Hypotenuse: Coating 141529

TFP (75°, 670-970 nm) R s > 80 % R p < 1%

| GDD-R s (75°, 670-970 nm) | < 20 fs²

| GDD-T p (75°, 680-960 nm) | < 5 fs²

One cathetus: Coating 141528

AR s,p (0-15°, 670-970 nm) < 0.25 %

Coated prism

Special item for clean

separation of s-pol. light.

m2 Polarizer 75°

S2+S1: Coating 141529

TFP (75°, 670-970 nm) R s > 80 % R p < 1 %

| GDD-R s (75°, 670-970 nm) | < 20 fs²

| GDD-T p (75°, 680-960 nm) | < 5 fs²

Polarizer

Special item for

clean separation

of p-pol. light.

p  Window 0°

S2+S1: Coating 141528

AR s,p (0-15°, 670-970 nm) < 0.25 %

激光损伤阈值LIDT

6/ 0.4 J/cm 2 ; 800 nm; 40 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

6/ 0.5 J/cm 2 ; 800 nm; 128 fs; 1 kHz; Ø 15 µm WRCP Budapest

德国Layertec公司创建于 1990年. 凭借多年在光学镜片的设计开发和生产经验，已成为全球知名的光学镜片厂商，LAYERTEC的镜片品质非常出众,广泛赢得客户的赞誉。光学镜片应用波长范围从157-2940nm,包括了科研以及工业上主流的激光器的应用，材质有YAG, Sapphire,CaF2,IR-fused silica,Fused Silica,BK7，尺寸大部份为0.5inch-2inch。

Layertec专注于提供激光光学元件的镀膜，波长范围从 VUV（157nm及以下） 到 NIR波段（～4um）。最常见的光学镀膜类型是高反射镜（从正入射或者AOI=45°的转向镜），用于输出耦合的部分反射镜，以及分束器和用于窗口和透镜的抗反射膜。对于更复杂的激光器镀膜，包括3个以上波长的高反射率（例如激光器波长和倍频波长），以及3个以上波长的高透射率（例如泵浦波长，倍频或者抑制其他激光波长）。宽带反射镜，针对平滑群延迟和群延迟色散光谱优化的反射镜，这些在宽带激光输出应用中会用到，例如染料激光器，钛宝石激光器，光参量震荡器（OPO）和飞秒激光器。

除了反射率和透射率，激光应用的镀膜必须满足低光学损耗和高激光损伤阈值。

在VIS和NIR波段的溅射光学镀膜具有低杂散光和低吸收损耗（数量级都在10–5）。磁控溅射镀膜的HR镜反射率或者部分反射镜的反射透射率之和都超过99.9%。最近测量了在溅射和蒸发镀膜中的NIR波长吸收损耗都在3-30ppm。在VIS-NIR波长范围，蒸发镀膜会产生杂散光损失大约10-3级，在UV和VUV波长可以达到10-2。尽管如此，蒸发镀膜在UV波长的吸收损耗比较低。

在CW和纳秒激光器光学元件的损伤主要跟热效应有关，例如增大的吸收，镀膜材料的固有吸收或者缺陷造成的吸收，  或者 镀膜较差的热导率 以及较低的熔化温度。 高能量的镀膜要求控制镀膜材料的固有特性以及减少膜层的缺陷。皮秒和飞秒激光元件的激光损伤主要是场强效应造成的。针对这类激光器的高功率镀膜要求非常特殊的设计。

根据ISO 11254-1 (cw- 激光损伤阈值LIDT and 1 on 1–激光损伤阈值LIDT, 例如单脉冲 激光损伤阈值LIDT), ISO 11254-2 (S on 1, 例如多脉冲 激光损伤阈值LIDT) 以及 ISO 11254-3 (一定数量的脉冲激光损伤阈值LIDT )标准中对激光损伤阈值激光损伤阈值LIDT的定义要求激光系统工作在单频模式下，精确的光束诊断和在线/离线损伤探测系统。因为这个原因，数量有限的配有少数几种激光器的测量系统可以使用（例如Laserzentrum Hannover 公司的1064nm）。对于比较特殊的激光器波长例如氩离子激光器（488nm或者514nm），没有测量系统可以用来验证激光损伤阈值LIDT数据。